多晶硅微波紅外復(fù)合專(zhuān)用烘干生產(chǎn)線達(dá)到客戶滿意工藝設(shè)備要求
干燥原理及控制點(diǎn):
1、采用干燥原理:連續(xù)式,微波溫控干燥。
2、微波精度控制:≤1%。 溫度控制點(diǎn):多點(diǎn)控溫,烘干過(guò)程中硅料溫度≤120℃。
3、傳動(dòng)系統(tǒng):PTFE特氟龍高溫布,可變頻調(diào)速。 輸送帶回程清理:帶自動(dòng)電動(dòng)毛刷清掃裝置。
4、微波泄漏量:≤2mW/cm2,測(cè)量方法按GB 5959.6-2008中規(guī)定執(zhí)行。